Датчики расхода газа Honeywell предназначены для измерения величины
массового расхода сухих и влажных
газов
в диапазонах от 30 см3/мин до 200 л/мин. Датчики не имеют
подвижных частей. В основу принципа действия заложен косвенный метод
измерения. Совершенное владение технологией разработки и производства МЭМС
устройств позволило компании создать уникальный микромостовой
измерительный элемент, обеспечивающий расходомеры Honeywell быстрым
временем отклика, высокой чувствительностью, повторяемостью и очень низким
гистерезисом. Этот чип включает нагревательный элемент и два расположенных
по его обе стороны термочувствительных элемента. Принцип действия этой
системы основан на механизме передачи потоком газа относительного
количества теплоты над поверхностью измерителя с дальнейшей регистрацией
разности температур термодатчиков моста на входе и выходе. Датчики, в
зависимости от модели, могут иметь встроенные схемы управления
нагревателем, питания микропреобразователя и усиления сигнала. При этом
размах выходного сигнала нормализован (1,0…5,0 В). Есть и простейшие
модели с милливольтовым выходом, которые существенно дешевле
интегрированных.